蚀刻喷洒装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201520363155.1
申请日
2015-05-29
公开(公告)号
CN204634169U
公开(公告)日
2015-09-09
发明(设计)人
张静 田园 姚益明
申请人
申请人地址
215000 江苏省苏州市中新大道东胜港街北前巷8号
IPC主分类号
H05K306
IPC分类号
代理机构
无锡互维知识产权代理有限公司 32236
代理人
章陆一
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
蚀刻喷洒模块及使用该蚀刻喷洒模块之湿式蚀刻装置 [P]. 
黄荣龙 ;
吕峻杰 ;
陈滢如 .
中国专利 :CN205609482U ,2016-09-28
[2]
湿式蚀刻机机台用蚀刻药液喷洒结构 [P]. 
江昌隆 .
中国专利 :CN204927251U ,2015-12-30
[3]
喷洒装置及喷洒设备 [P]. 
舒展 ;
王博 ;
周万仁 .
中国专利 :CN212069200U ,2020-12-04
[4]
喷洒装置 [P]. 
鄢莉 ;
李晓明 .
中国专利 :CN206851582U ,2018-01-09
[5]
喷洒装置 [P]. 
叶志青 .
中国专利 :CN205731703U ,2016-11-30
[6]
喷洒装置 [P]. 
王韬远 ;
陶冶 ;
朱志国 ;
曹孟生 .
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[7]
喷洒装置 [P]. 
藤川治 ;
孙奇 ;
杨中贤 ;
杨伟雄 .
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[8]
喷洒装置 [P]. 
周天毫 .
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[9]
喷洒装置 [P]. 
柳建伟 ;
张宝军 ;
王永贤 ;
柳秉寅 ;
王智 ;
谈少华 .
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[10]
喷洒装置 [P]. 
陈德和 .
中国专利 :CN220658067U ,2024-03-26