蚀刻喷洒模块及使用该蚀刻喷洒模块之湿式蚀刻装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620249189.2

申请日：

2016-03-29

公开(公告)号：

CN205609482U

公开(公告)日：

2016-09-28

发明(设计)人：

黄荣龙吕峻杰陈滢如

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市科学工业园区研发二路3号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

G02F113

代理机构：

上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218

代理人：

翟羽

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-12	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20160329 授权公告日:20160928 终止日期:20200329
2016-09-28	授权	授权

共 50 条

[1]

蚀刻喷洒模块及使用该蚀刻喷洒模块之湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN107240561A ,2017-10-10

[2]

蚀刻喷洒装置 [P].

张静 ;

田园 ;

姚益明 .

中国专利 :CN204634169U ,2015-09-09

[3]

湿式蚀刻机机台用蚀刻药液喷洒结构 [P].

江昌隆 .

中国专利 :CN204927251U ,2015-12-30

[4]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN206293413U ,2017-06-30

[5]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN205564719U ,2016-09-07

[6]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN205726686U ,2016-11-23

[7]

蚀刻装置及使用该蚀刻装置蚀刻基板的方法 [P].

郑建邦 .

中国专利 :CN102453915A ,2012-05-16

[8]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN107306478A ,2017-10-31

[9]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN107316825A ,2017-11-03

[10]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN108010865A ,2018-05-08

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