湿式蚀刻装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610966535.3

申请日：

2016-10-28

公开(公告)号：

CN108010865A

公开(公告)日：

2018-05-08

发明(设计)人：

黄荣龙吕峻杰陈滢如

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市科学工业园区研发二路3号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218

代理人：

翟羽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20161028
2020-03-06	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20180508
2018-05-08	公开	公开

共 50 条

[1]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN206293413U ,2017-06-30

[2]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN205564719U ,2016-09-07

[3]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN107316825A ,2017-11-03

[4]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN107306478A ,2017-10-31

[5]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN205726686U ,2016-11-23

[6]

蚀刻喷洒模块及使用该蚀刻喷洒模块之湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN107240561A ,2017-10-10

[7]

蚀刻喷洒模块及使用该蚀刻喷洒模块之湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN205609482U ,2016-09-28

[8]

湿式蚀刻装置 [P].

小林信雄 ;

黑川祯明 ;

滨田晃一 .

中国专利 :CN107452649A ,2017-12-08

[9]

湿式蚀刻装置 [P].

苏左将 .

中国专利 :CN206003750U ,2017-03-08

[10]

湿式蚀刻装置 [P].

小林信雄 ;

黑川祯明 ;

滨田晃一 .

中国专利 :CN104078391B ,2014-10-01

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