湿式蚀刻装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710207544.9

申请日：

2014-03-28

公开(公告)号：

CN107452649A

公开(公告)日：

2017-12-08

发明(设计)人：

小林信雄黑川祯明滨田晃一

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

周欣;陈建全

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-08	公开	公开
2020-10-20	授权	授权
2018-01-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20140328

共 50 条

[1]

湿式蚀刻装置 [P].

小林信雄 ;

黑川祯明 ;

滨田晃一 .

中国专利 :CN104078391B ,2014-10-01

[2]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN107306478A ,2017-10-31

[3]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN206293413U ,2017-06-30

[4]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN205564719U ,2016-09-07

[5]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN205726686U ,2016-11-23

[6]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN107316825A ,2017-11-03

[7]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN108010865A ,2018-05-08

[8]

湿式蚀刻装置 [P].

苏左将 .

中国专利 :CN206003750U ,2017-03-08

[9]

湿蚀刻装置和湿蚀刻方法 [P].

绪方正一 ;

菅长大辅 .

中国专利 :CN102473627B ,2012-05-23

[10]

湿式蚀刻机 [P].

刘灿 .

中国专利 :CN207391556U ,2018-05-22

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