湿式蚀刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721354068.5

申请日：

2017-10-19

公开(公告)号：

CN207391556U

公开(公告)日：

2018-05-22

发明(设计)人：

刘灿

申请人：

申请人地址：

518052 广东省深圳市龙岗区横岗街道龙岗大道8288号大运软件小镇43栋

IPC主分类号：

C23F108

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

黄德海

法律状态：

专利权质押合同登记的生效、变更及注销

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-06	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):C23F 1/08 登记号:Y2020980006952 登记生效日:20201020 出质人:深圳柔宇显示技术有限公司质权人:中信银行股份有限公司深圳分行实用新型名称:湿式蚀刻机申请日:20171019 授权公告日:20180522
2018-05-22	授权	授权
2020-04-10	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23F 1/08 登记生效日:20200324 变更事项:专利权人变更前权利人:深圳市柔宇科技有限公司变更后权利人:深圳柔宇显示技术有限公司变更事项:地址变更前权利人:518052 广东省深圳市龙岗区横岗街道龙岗大道8288号大运软件小镇43栋变更后权利人:518000 广东省深圳市龙岗区坪地街道丁山河路18号柔宇国际柔性显示基地

共 50 条

[1]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN206293413U ,2017-06-30

[2]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN205564719U ,2016-09-07

[3]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN205726686U ,2016-11-23

[4]

湿式蚀刻装置 [P].

苏左将 .

中国专利 :CN206003750U ,2017-03-08

[5]

湿式蚀刻机机台用蚀刻药液喷洒结构 [P].

江昌隆 .

中国专利 :CN204927251U ,2015-12-30

[6]

立式湿制程蚀刻机 [P].

吕理榕 ;

巫坤星 ;

杨延鸿 ;

锺添达 .

中国专利 :CN210725530U ,2020-06-09

[7]

湿式蚀刻机机台用浸泡槽结构 [P].

黄于维 .

中国专利 :CN204792722U ,2015-11-18

[8]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN107306478A ,2017-10-31

[9]

湿式蚀刻装置 [P].

小林信雄 ;

黑川祯明 ;

滨田晃一 .

中国专利 :CN107452649A ,2017-12-08

[10]

湿式蚀刻装置 [P].

黄荣龙 ;

吕峻杰 ;

陈滢如 .

中国专利 :CN107316825A ,2017-11-03

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