一种掩模制作装置及制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911008393.X

申请日：

2019-10-22

公开(公告)号：

CN112695272B

公开(公告)日：

2021-04-23

发明(设计)人：

周畅黄元昊罗闻

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424 G01B1100 G01B1125 G01S1708

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

孟金喆

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-23	公开	公开
2022-03-15	授权	授权
2021-05-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20191022

共 50 条

[1]

掩模版制作装置及掩模版制作方法 [P].

张旺 .

中国专利 :CN119142739B ,2025-02-18

[2]

掩模版制作装置及掩模版制作方法 [P].

张旺 .

中国专利 :CN119142739A ,2024-12-17

[3]

刀模制作装置和刀模制作方法 [P].

金宝玉 .

中国专利 :CN117140653B ,2025-08-26

[4]

金属掩模的制作方法及金属掩模 [P].

杨芸佩 ;

余俊毅 .

中国专利 :CN114032497A ,2022-02-11

[5]

一种无掩模纳米图形制作方法及其制作装置 [P].

陈献忠 ;

姚汉民 ;

陈旭南 ;

石建平 ;

李展 ;

高洪涛 ;

陈元培 .

中国专利 :CN1506761A ,2004-06-23

[6]

像素阵列及其制作方法,金属掩模及其制作方法 [P].

江南辉 ;

莫尧安 ;

陈信宏 ;

林居广 ;

范耀中 ;

赖敬权 ;

林继民 ;

黄秉修 .

中国专利 :CN114068665A ,2022-02-18

[7]

压印光刻用复制模制作装置及其制作方法 [P].

具滋鹏 ;

金泰完 ;

权相民 ;

郑熙锡 .

中国专利 :CN111208708B ,2020-05-29

[8]

一种饭团制作装置及制作方法 [P].

王娴 .

中国专利 :CN117413904A ,2024-01-19

[9]

一种书籍制作装置及制作方法 [P].

孙胜杰 ;

周凤莉 .

中国专利 :CN118404647A ,2024-07-30

[10]

一种蒜泥制作装置及制作方法 [P].

吕文辉 .

中国专利 :CN111481041B ,2020-08-04

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