一种晶硅片碱抛光装置及抛光工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011638639.4

申请日：

2020-12-31

公开(公告)号：

CN112792711B

公开(公告)日：

2021-05-14

发明(设计)人：

张红利罗江李雪芬王池李锋清李杨袁震芹虢世恩毕超群程力

申请人：

申请人地址：

430000 湖北省武汉市东西湖区新城十路

IPC主分类号：

B24B2902

IPC分类号：

B24B2700 B24B4106 B24B4700 B24B4712 B24B5702 H01L2102 H01L2167

代理机构：

武汉红观专利代理事务所(普通合伙) 42247

代理人：

李杰梅

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-14	公开	公开
2021-06-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 29/02 申请日:20201231
2022-05-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片有蜡抛光工艺及抛光装置 [P].

陈跃骅 ;

方萌 ;

周贤明 ;

赵纪平 ;

戴文仙 ;

刘小祥 ;

汪新平 ;

廖建军 .

中国专利 :CN119260585A ,2025-01-07

[2]

一种晶圆抛光装置及抛光工艺 [P].

赵航 ;

冯校亮 ;

王刚 .

中国专利 :CN119304762A ,2025-01-14

[3]

一种硅片抛光工艺 [P].

吴鹏飞 ;

成子恒 ;

张超仁 ;

黄春峰 ;

张强 .

中国专利 :CN120480672A ,2025-08-15

[4]

一种新型碱抛光工艺 [P].

胡燕 ;

王海庆 ;

曹思远 .

中国专利 :CN111074280A ,2020-04-28

[5]

一种光学镜片抛光装置及抛光工艺 [P].

周志凯 ;

陈锐 .

中国专利 :CN107671605A ,2018-02-09

[6]

一种光学镜片抛光装置及抛光工艺 [P].

马旭东 ;

陈来军 .

中国专利 :CN113732876A ,2021-12-03

[7]

一种空心胶囊抛光工艺及胶囊抛光装置 [P].

邱航 .

中国专利 :CN111702561A ,2020-09-25

[8]

一种光学镜片抛光装置及抛光工艺 [P].

周志凯 ;

陈锐 .

中国专利 :CN107253132A ,2017-10-17

[9]

一种光学镜片抛光装置及抛光工艺 [P].

罗俊涛 .

中国专利 :CN113043116B ,2021-06-29

[10]

一种管材内表面抛光装置及抛光工艺 [P].

林郁君 .

中国专利 :CN113059474B ,2021-07-02

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