一种晶圆抛光装置及抛光工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411703748.8

申请日：

2024-11-26

公开(公告)号：

CN119304762A

公开(公告)日：

2025-01-14

发明(设计)人：

赵航冯校亮王刚

申请人：

安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司

申请人地址：

244000 安徽省铜陵市义安区南海路21号

IPC主分类号：

B24B29/00

IPC分类号：

B24B31/00 B24B31/12 B24B41/00 B24B49/14

代理机构：

铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105

代理人：

李坤

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省铜陵市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 29/00申请日:20241126
2025-11-18	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回IPC(主分类):B24B 29/00申请公布日:20250114
2025-01-14	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆抛光装置及晶圆抛光方法 [P].

杨玉凯 .

中国专利 :CN115431167A ,2022-12-06

[2]

一种晶圆抛光垫及晶圆抛光装置 [P].

李洪亮 ;

沈思情 ;

张俊宝 ;

陈猛 .

中国专利 :CN211193450U ,2020-08-07

[3]

晶圆抛光方法及抛光装置 [P].

川崎智宪 ;

寺川良也 .

中国专利 :CN108369906B ,2018-08-03

[4]

抛光垫及晶圆抛光装置 [P].

柴万里 ;

王凯 ;

谢毓 .

中国专利 :CN120588104A ,2025-09-05

[5]

抛光垫及晶圆抛光装置 [P].

柴万里 ;

王凯 ;

谢毓 .

中国专利 :CN120588104B ,2025-10-10

[6]

晶圆抛光装置及抛光方法 [P].

具滋贤 ;

张月 ;

杨涛 ;

卢一泓 ;

田光辉 .

中国专利 :CN114851057A ,2022-08-05

[7]

一种晶圆抛光装置及抛光方法 [P].

毛晨 ;

陆爱军 .

中国专利 :CN121199848A ,2025-12-26

[8]

一种抛光装置及晶圆抛光方法 [P].

王泽东 .

中国专利 :CN119260588A ,2025-01-07

[9]

一种晶圆搬运装置及抛光系统、抛光工艺 [P].

徐枭宇 ;

郑东州 .

中国专利 :CN119141422A ,2024-12-17

[10]

一种晶圆搬运装置及抛光系统、抛光工艺 [P].

徐枭宇 ;

郑东州 .

中国专利 :CN119141422B ,2025-03-11

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