晶圆抛光装置及抛光方法

被引：0

申请号：

CN202110153607.3

申请日：

2021-02-04

公开(公告)号：

CN114851057A

公开(公告)日：

2022-08-05

发明(设计)人：

具滋贤张月杨涛卢一泓田光辉

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

B24B2902

IPC分类号：

B24B4106 B24B3704 B24B3710 B24B3730 B08B312

代理机构：

北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667

代理人：

赵永刚

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-05	公开	公开
2022-08-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 29/02 申请日:20210204

共 50 条

[1]

晶圆抛光装置及晶圆抛光方法 [P].

杨玉凯 .

中国专利 :CN115431167A ,2022-12-06

[2]

晶圆抛光方法及抛光装置 [P].

川崎智宪 ;

寺川良也 .

中国专利 :CN108369906B ,2018-08-03

[3]

晶圆边缘抛光装置及晶圆边缘抛光方法 [P].

潘雪明 ;

李鑫 ;

苏静洪 .

中国专利 :CN109877694A ,2019-06-14

[4]

晶圆抛光装置、晶圆抛光系统以及晶圆抛光方法 [P].

王同庆 ;

王春龙 ;

张美洁 .

中国专利 :CN117464552A ,2024-01-30

[5]

晶圆抛光液、晶圆抛光方法和晶圆抛光装置 [P].

易德福 ;

丁勇 ;

吴城 .

中国专利 :CN118496766A ,2024-08-16

[6]

晶圆凹口抛光装置及晶圆凹口抛光方法 [P].

潘雪明 ;

李鑫 ;

苏静洪 .

中国专利 :CN109926911A ,2019-06-25

[7]

抛光装置、抛光方法和晶圆 [P].

罗朝阳 ;

马乾志 ;

张雨杭 ;

张奇 ;

马坤 ;

杨越皓 ;

邓厚军 ;

杜桂军 .

中国专利 :CN119057676A ,2024-12-03

[8]

边缘抛光头、晶圆边缘抛光装置和晶圆边缘抛光方法 [P].

梅晓熙 ;

张世凯 ;

常福佳 .

美国专利 :CN119820448A ,2025-04-15

[9]

晶圆抛光方法 [P].

李振华 ;

刘会红 .

中国专利 :CN110919467A ,2020-03-27

[10]

晶圆抛光方法 [P].

西谷隆志 ;

谷本龙一 .

中国专利 :CN108475627B ,2018-08-31

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