学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

抛光装置、抛光方法和晶圆

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411390940.6
申请日：
2024-09-30
公开(公告)号：
CN119057676A
公开(公告)日：
2024-12-03
发明(设计)人：
罗朝阳 马乾志 张雨杭 张奇 马坤 杨越皓 邓厚军 杜桂军
申请人：
中环领先半导体科技股份有限公司
申请人地址：
214203 江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道
IPC主分类号：
B24B29/02
IPC分类号：
B24B7/22 B24B1/00 B24B41/047 B24B49/00
代理机构：
深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570
代理人：
张华蒙
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-12-03 公开 公开
2024-12-20 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B24B 29/02申请日:20240930
共 50 条
[1]
晶圆抛光液、晶圆抛光方法和晶圆抛光装置 [P]. 
易德福 ;
丁勇 ;
吴城 .
中国专利 :CN118496766A ,2024-08-16
[2]
晶圆边缘抛光方法和抛光装置 [P]. 
王凯杰 ;
王科 ;
郭垒 ;
刘浩洋 ;
庄鑫 .
中国专利 :CN119369244B ,2025-04-15
[3]
晶圆边缘抛光方法和抛光装置 [P]. 
王凯杰 ;
王科 ;
郭垒 ;
刘浩洋 ;
庄鑫 .
中国专利 :CN119897783A ,2025-04-29
[4]
晶圆边缘抛光方法和抛光装置 [P]. 
王凯杰 ;
王科 ;
郭垒 ;
刘浩洋 ;
庄鑫 .
中国专利 :CN119369244A ,2025-01-28
[5]
晶圆边缘抛光方法和抛光装置 [P]. 
王凯杰 ;
王科 ;
郭垒 ;
刘浩洋 ;
庄鑫 .
中国专利 :CN119897783B ,2025-11-21
[6]
晶圆抛光装置及晶圆抛光方法 [P]. 
杨玉凯 .
中国专利 :CN115431167A ,2022-12-06
[7]
晶圆抛光装置、晶圆抛光系统以及晶圆抛光方法 [P]. 
王同庆 ;
王春龙 ;
张美洁 .
中国专利 :CN117464552A ,2024-01-30
[8]
边缘抛光头、晶圆边缘抛光装置和晶圆边缘抛光方法 [P]. 
梅晓熙 ;
张世凯 ;
常福佳 .
美国专利 :CN119820448A ,2025-04-15
[9]
晶圆抛光方法及抛光装置 [P]. 
川崎智宪 ;
寺川良也 .
中国专利 :CN108369906B ,2018-08-03
[10]
晶圆抛光装置及抛光方法 [P]. 
具滋贤 ;
张月 ;
杨涛 ;
卢一泓 ;
田光辉 .
中国专利 :CN114851057A ,2022-08-05
12345