晶圆抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680066639.7

申请日：

2016-11-04

公开(公告)号：

CN108475627B

公开(公告)日：

2018-08-31

发明(设计)人：

西谷隆志谷本龙一

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

李婷;刘林华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20161104
2018-08-31	公开	公开
2022-11-08	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆抛光装置、晶圆抛光系统以及晶圆抛光方法 [P].

王同庆 ;

王春龙 ;

张美洁 .

中国专利 :CN117464552A ,2024-01-30

[2]

晶圆抛光液、晶圆抛光方法和晶圆抛光装置 [P].

易德福 ;

丁勇 ;

吴城 .

中国专利 :CN118496766A ,2024-08-16

[3]

晶圆抛光装置及晶圆抛光方法 [P].

杨玉凯 .

中国专利 :CN115431167A ,2022-12-06

[4]

晶圆抛光方法 [P].

万先进 ;

尤国振 ;

何红秀 ;

沈超 ;

秦宝宏 ;

魏兴亮 ;

锁志勇 .

中国专利 :CN121199838A ,2025-12-26

[5]

晶圆抛光系统、晶圆抛光方法以及晶圆抛光控制系统 [P].

路新春 ;

王同庆 ;

王春龙 ;

张美洁 .

中国专利 :CN117415723A ,2024-01-19

[6]

晶圆边缘抛光装置及晶圆边缘抛光方法 [P].

潘雪明 ;

李鑫 ;

苏静洪 .

中国专利 :CN109877694A ,2019-06-14

[7]

晶圆凹口抛光装置及晶圆凹口抛光方法 [P].

潘雪明 ;

李鑫 ;

苏静洪 .

中国专利 :CN109926911A ,2019-06-25

[8]

抛光装置、抛光方法和晶圆 [P].

罗朝阳 ;

马乾志 ;

张雨杭 ;

张奇 ;

马坤 ;

杨越皓 ;

邓厚军 ;

杜桂军 .

中国专利 :CN119057676A ,2024-12-03

[9]

晶圆抛光方法及抛光装置 [P].

川崎智宪 ;

寺川良也 .

中国专利 :CN108369906B ,2018-08-03

[10]

晶圆抛光装置及抛光方法 [P].

具滋贤 ;

张月 ;

杨涛 ;

卢一泓 ;

田光辉 .

中国专利 :CN114851057A ,2022-08-05

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