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一种晶圆搬运装置及抛光系统、抛光工艺

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411661227.0
申请日：
2024-11-20
公开(公告)号：
CN119141422A
公开(公告)日：
2024-12-17
发明(设计)人：
徐枭宇 郑东州
申请人：
杭州众硅电子科技有限公司
申请人地址：
310000 浙江省杭州市临安区青山湖街道创业街88号1幢一层
IPC主分类号：
B24B29/02
IPC分类号：
B24B7/22 B24B27/00 B24B41/00 B24B1/00
代理机构：
杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267
代理人：
邵志
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
浙江省 杭州市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-01-03 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B24B 29/02申请日:20241120
2025-03-11 授权 授权
2024-12-17 公开 公开
共 50 条
[1]
一种晶圆搬运装置及抛光系统、抛光工艺 [P]. 
徐枭宇 ;
郑东州 .
中国专利 :CN119141422B ,2025-03-11
[2]
晶圆抛光系统 [P]. 
徐枭宇 .
中国专利 :CN216542663U ,2022-05-17
[3]
晶圆抛光系统 [P]. 
杨渊思 ;
徐枭宇 ;
周智鹏 ;
吴俊逸 .
中国专利 :CN216781428U ,2022-06-21
[4]
晶圆抛光装置、晶圆抛光系统以及晶圆抛光方法 [P]. 
王同庆 ;
王春龙 ;
张美洁 .
中国专利 :CN117464552A ,2024-01-30
[5]
一种晶圆抛光系统 [P]. 
徐枭宇 .
中国专利 :CN114147611B ,2022-03-08
[6]
一种晶圆抛光系统 [P]. 
何红秀 ;
吴靖宇 .
中国专利 :CN222589258U ,2025-03-11
[7]
一种晶圆抛光系统 [P]. 
杨渊思 ;
徐枭宇 ;
周智鹏 ;
吴俊逸 .
中国专利 :CN113910099A ,2022-01-11
[8]
晶圆抛光系统 [P]. 
郑东州 ;
徐枭宇 .
中国专利 :CN220427944U ,2024-02-02
[9]
一种抛光垫及晶圆抛光系统 [P]. 
张佳林 ;
朱政挺 .
中国专利 :CN222589300U ,2025-03-11
[10]
晶圆抛光系统、晶圆抛光方法以及晶圆抛光控制系统 [P]. 
路新春 ;
王同庆 ;
王春龙 ;
张美洁 .
中国专利 :CN117415723A ,2024-01-19
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