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晶圆抛光系统

被引：0
申请号：
CN202122969498.0
申请日：
2021-11-30
公开(公告)号：
CN216542663U
公开(公告)日：
2022-05-17
发明(设计)人：
徐枭宇
申请人：
申请人地址：
311300 浙江省杭州市临安区青山湖街道创业街88号1幢一层
IPC主分类号：
B24B3700
IPC分类号：
B24B3734
代理机构：
杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267
代理人：
邵志
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-05-17 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆抛光系统 [P]. 
杨渊思 ;
徐枭宇 ;
周智鹏 ;
吴俊逸 .
中国专利 :CN216781428U ,2022-06-21
[2]
晶圆抛光系统 [P]. 
郑东州 ;
徐枭宇 .
中国专利 :CN220427944U ,2024-02-02
[3]
一种晶圆抛光系统 [P]. 
何红秀 ;
吴靖宇 .
中国专利 :CN222589258U ,2025-03-11
[4]
一种晶圆抛光系统 [P]. 
徐枭宇 .
中国专利 :CN114147611B ,2022-03-08
[5]
一种晶圆抛光系统 [P]. 
杨渊思 ;
徐枭宇 ;
周智鹏 ;
吴俊逸 .
中国专利 :CN113910099A ,2022-01-11
[6]
晶圆承载组件及晶圆抛光系统 [P]. 
樊荣 .
中国专利 :CN223130360U ,2025-07-22
[7]
晶圆抛光装置、晶圆抛光系统以及晶圆抛光方法 [P]. 
王同庆 ;
王春龙 ;
张美洁 .
中国专利 :CN117464552A ,2024-01-30
[8]
晶圆抛光系统、晶圆抛光方法以及晶圆抛光控制系统 [P]. 
路新春 ;
王同庆 ;
王春龙 ;
张美洁 .
中国专利 :CN117415723A ,2024-01-19
[9]
一种晶圆抛光系统 [P]. 
徐枭宇 .
中国专利 :CN115338718A ,2022-11-15
[10]
一种晶圆抛光系统 [P]. 
郑东州 ;
徐枭宇 .
中国专利 :CN217800946U ,2022-11-15
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