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一种晶圆抛光系统

被引：0
申请号：
CN202221658782.4
申请日：
2022-06-30
公开(公告)号：
CN217800946U
公开(公告)日：
2022-11-15
发明(设计)人：
郑东州 徐枭宇
申请人：
申请人地址：
311300 浙江省杭州市临安区青山湖街道创业街88号1幢一层
IPC主分类号：
B24B2902
IPC分类号：
B24B4102 B24B4104 B24B4106 B24B4722
代理机构：
杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267
代理人：
邵志
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-11-15 授权 授权
共 50 条
[1]
一种连续式晶圆抛光系统 [P]. 
徐枭宇 ;
郑东州 .
中国专利 :CN115338705A ,2022-11-15
[2]
晶圆抛光系统 [P]. 
郑东州 ;
徐枭宇 .
中国专利 :CN220427944U ,2024-02-02
[3]
晶圆抛光系统 [P]. 
杨渊思 ;
徐枭宇 ;
周智鹏 ;
吴俊逸 .
中国专利 :CN216781428U ,2022-06-21
[4]
晶圆抛光系统 [P]. 
徐枭宇 .
中国专利 :CN216542663U ,2022-05-17
[5]
一种晶圆抛光系统 [P]. 
何红秀 ;
吴靖宇 .
中国专利 :CN222589258U ,2025-03-11
[6]
一种晶圆抛光系统 [P]. 
杨渊思 ;
徐枭宇 ;
周智鹏 ;
吴俊逸 .
中国专利 :CN113910099A ,2022-01-11
[7]
一种抛光垫及晶圆抛光系统 [P]. 
张佳林 ;
朱政挺 .
中国专利 :CN222589300U ,2025-03-11
[8]
晶圆承载组件及晶圆抛光系统 [P]. 
樊荣 .
中国专利 :CN223130360U ,2025-07-22
[9]
一种晶圆抛光系统 [P]. 
徐枭宇 .
中国专利 :CN114147611B ,2022-03-08
[10]
一种晶圆抛光系统 [P]. 
徐枭宇 .
中国专利 :CN115338718A ,2022-11-15
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