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一种晶圆抛光系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111041137.8
申请日：
2021-09-07
公开(公告)号：
CN113910099A
公开(公告)日：
2022-01-11
发明(设计)人：
杨渊思 徐枭宇 周智鹏 吴俊逸
申请人：
申请人地址：
311300 浙江省杭州市临安区青山湖街道创业街88号1幢一层
IPC主分类号：
B24B3704
IPC分类号：
B24B37005 B24B3707 B24B3734 B24B4712 B24B4716 B24B5702 B24B2700
代理机构：
杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267
代理人：
邵志
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-01-28 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/04 申请日:20210907
2022-01-11 公开 公开
共 50 条
[1]
晶圆抛光系统 [P]. 
杨渊思 ;
徐枭宇 ;
周智鹏 ;
吴俊逸 .
中国专利 :CN216781428U ,2022-06-21
[2]
晶圆抛光系统 [P]. 
徐枭宇 .
中国专利 :CN216542663U ,2022-05-17
[3]
一种晶圆抛光系统 [P]. 
徐枭宇 .
中国专利 :CN114147611B ,2022-03-08
[4]
一种晶圆抛光系统 [P]. 
何红秀 ;
吴靖宇 .
中国专利 :CN222589258U ,2025-03-11
[5]
晶圆抛光系统 [P]. 
郑东州 ;
徐枭宇 .
中国专利 :CN220427944U ,2024-02-02
[6]
一种晶圆抛光系统 [P]. 
徐枭宇 .
中国专利 :CN115338718A ,2022-11-15
[7]
一种晶圆抛光系统 [P]. 
郑东州 ;
徐枭宇 .
中国专利 :CN217800946U ,2022-11-15
[8]
晶圆抛光装置、晶圆抛光系统以及晶圆抛光方法 [P]. 
王同庆 ;
王春龙 ;
张美洁 .
中国专利 :CN117464552A ,2024-01-30
[9]
一种连续式晶圆抛光系统 [P]. 
徐枭宇 ;
郑东州 .
中国专利 :CN115338705A ,2022-11-15
[10]
晶圆抛光系统、晶圆抛光方法以及晶圆抛光控制系统 [P]. 
路新春 ;
王同庆 ;
王春龙 ;
张美洁 .
中国专利 :CN117415723A ,2024-01-19
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