一种真空镀膜

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专利类型
实用新型
申请号
CN201720079278.1
申请日
2017-01-22
公开(公告)号
CN206580879U
公开(公告)日
2017-10-24
发明(设计)人
周斌迁
申请人
申请人地址
317300 浙江省台州市仙居县永安工业集聚区
IPC主分类号
C23C1424
IPC分类号
C23C2800
代理机构
代理人
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种真空镀膜工艺箱及真空镀膜系统 [P]. 
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龚文志 ;
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[2]
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谭立 ;
余海春 ;
戴晓东 ;
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[3]
一种用于PVD真空镀膜的真空镀膜炉 [P]. 
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
一种真空镀膜设备的真空室及真空镀膜设备 [P]. 
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[8]
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[9]
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将卫金 ;
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[10]
真空镀膜腔室及真空镀膜设备 [P]. 
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