碳化硅外延生长管路系统

被引：0

申请号：

CN202210667129.2

申请日：

2022-06-14

公开(公告)号：

CN114855279A

公开(公告)日：

2022-08-05

发明(设计)人：

韩景瑞丁雄傑杨旭腾李锡光

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市松山湖北部工业城工业北一路5号二楼办公楼

IPC主分类号：

C30B2936

IPC分类号：

C30B2514 C30B2516

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

陈进芳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-05	公开	公开
2022-08-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 29/36 申请日:20220614

共 50 条

[1]

碳化硅外延生长管路系统 [P].

韩景瑞 ;

丁雄傑 ;

杨旭腾 ;

李锡光 .

中国专利 :CN218203172U ,2023-01-03

[2]

碳化硅外延生长设备 [P].

陈豪杰 ;

范谞 ;

余乐俊 ;

吕威 ;

周辜名 .

中国专利 :CN223496708U ,2025-10-31

[3]

碳化硅外延生长设备 [P].

陈豪杰 ;

范谞 ;

余乐俊 ;

吕威 ;

周辜名 .

中国专利 :CN119392374A ,2025-02-07

[4]

碳化硅外延生长环和碳化硅外延生长装置 [P].

丁昌钊 ;

巩泉雨 ;

区灿林 ;

谢春林 ;

周维 .

中国专利 :CN222861711U ,2025-05-13

[5]

一种碳化硅外延生长源管路系统 [P].

黄海林 ;

钱卫宁 ;

刘杰 ;

梁瑞 ;

冯淦 ;

赵建辉 .

中国专利 :CN115434009A ,2022-12-06

[6]

一种碳化硅外延生长装置 [P].

蒲勇 ;

赵鹏 ;

卢勇 ;

施建新 .

中国专利 :CN114150381A ,2022-03-08

[7]

碳化硅外延片生长载盘 [P].

张郁坚 ;

马爽 ;

李锡光 .

中国专利 :CN222119470U ,2024-12-06

[8]

碳化硅外延生长设备 [P].

邓家乐 ;

谢添乐 ;

巩小亮 ;

巴赛 ;

胡志坤 ;

石磊 ;

李彦斌 .

中国专利 :CN309106980S ,2025-02-11

[9]

碳化硅外延片的生长方法及碳化硅外延片 [P].

张士良 ;

冯尹 ;

张鹏 ;

马万里 ;

钟泳生 .

中国专利 :CN120967508A ,2025-11-18

[10]

碳化硅外延片的制备方法和碳化硅外延生长设备 [P].

李哲洋 ;

王迦卉 ;

于乐 ;

金锐 .

中国专利 :CN119877095B ,2025-08-08

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