碳化硅外延生长设备

被引：0

专利类型：

外观设计

申请号：

CN202430332664.2

申请日：

2024-05-31

公开(公告)号：

CN309106980S

公开(公告)日：

2025-02-11

发明(设计)人：

邓家乐谢添乐巩小亮巴赛胡志坤石磊李彦斌

申请人：

中国电子科技集团公司第四十八研究所

申请人地址：

410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号

IPC主分类号：

15-99

IPC分类号：

代理机构：

湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008

代理人：

周长清;赵朕毅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-11	授权	授权

共 50 条

[1]

碳化硅外延生长设备 [P].

陈豪杰 ;

范谞 ;

余乐俊 ;

吕威 ;

周辜名 .

中国专利 :CN223496708U ,2025-10-31

[2]

碳化硅外延生长设备 [P].

陈豪杰 ;

范谞 ;

余乐俊 ;

吕威 ;

周辜名 .

中国专利 :CN119392374A ,2025-02-07

[3]

碳化硅外延片的制备方法和碳化硅外延生长设备 [P].

李哲洋 ;

王迦卉 ;

于乐 ;

金锐 .

中国专利 :CN119877095B ,2025-08-08

[4]

碳化硅外延片的制备方法和碳化硅外延生长设备 [P].

李哲洋 ;

王迦卉 ;

于乐 ;

金锐 .

中国专利 :CN119877095A ,2025-04-25

[5]

碳化硅外延生长环和碳化硅外延生长装置 [P].

丁昌钊 ;

巩泉雨 ;

区灿林 ;

谢春林 ;

周维 .

中国专利 :CN222861711U ,2025-05-13

[6]

一种碳化硅外延生长设备 [P].

毛瑞川 ;

李辉 ;

丁柏松 ;

陆友峰 ;

孙国峰 .

中国专利 :CN118639325A ,2024-09-13

[7]

碳化硅外延生长设备的物料转移方法 [P].

陈豪杰 ;

范谞 ;

余乐俊 ;

吕威 ;

周辜名 .

中国专利 :CN119685932A ,2025-03-25

[8]

一种碳化硅外延生长方法及外延生长设备 [P].

张哲伟 ;

曹毅 ;

王威威 ;

杜昌 ;

严鹏 .

中国专利 :CN117604641A ,2024-02-27

[9]

一种碳化硅外延生长设备及方法 [P].

张广辉 ;

蒲勇 ;

李达 ;

焦顺平 .

中国专利 :CN119194600A ,2024-12-27

[10]

一种碳化硅外延生长设备及方法 [P].

张广辉 ;

布丛郝 ;

徐玉田 ;

李达 .

中国专利 :CN119162668A ,2024-12-20

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