学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

碳化硅外延片的制备方法和碳化硅外延生长设备

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510382485.3
申请日：
2025-03-28
公开(公告)号：
CN119877095A
公开(公告)日：
2025-04-25
发明(设计)人：
李哲洋 王迦卉 于乐 金锐
申请人：
北京怀柔实验室
申请人地址：
101400 北京市怀柔区杨雁东一路8号院5号楼319室
IPC主分类号：
C30B25/14
IPC分类号：
H01L21/02 C30B25/16 C30B29/36
代理机构：
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240
代理人：
霍文娟
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-04-25 公开 公开
2025-08-08 授权 授权
2025-05-13 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C30B 25/14申请日:20250328
共 50 条
[1]
碳化硅外延片的制备方法和碳化硅外延生长设备 [P]. 
李哲洋 ;
王迦卉 ;
于乐 ;
金锐 .
中国专利 :CN119877095B ,2025-08-08
[2]
碳化硅外延生长环和碳化硅外延生长装置 [P]. 
丁昌钊 ;
巩泉雨 ;
区灿林 ;
谢春林 ;
周维 .
中国专利 :CN222861711U ,2025-05-13
[3]
碳化硅外延生长设备 [P]. 
陈豪杰 ;
范谞 ;
余乐俊 ;
吕威 ;
周辜名 .
中国专利 :CN119392374A ,2025-02-07
[4]
碳化硅外延生长设备 [P]. 
陈豪杰 ;
范谞 ;
余乐俊 ;
吕威 ;
周辜名 .
中国专利 :CN223496708U ,2025-10-31
[5]
碳化硅外延片的生长方法及碳化硅外延片 [P]. 
张士良 ;
冯尹 ;
张鹏 ;
马万里 ;
钟泳生 .
中国专利 :CN120967508A ,2025-11-18
[6]
碳化硅外延生长设备 [P]. 
邓家乐 ;
谢添乐 ;
巩小亮 ;
巴赛 ;
胡志坤 ;
石磊 ;
李彦斌 .
中国专利 :CN309106980S ,2025-02-11
[7]
碳化硅外延片生长方法 [P]. 
马爽 ;
韩景瑞 ;
丁雄傑 ;
李锡光 .
中国专利 :CN119800499A ,2025-04-11
[8]
一种碳化硅外延生长的控制方法及碳化硅外延片 [P]. 
黄海林 ;
冯淦 ;
赵建辉 .
中国专利 :CN112466745B ,2021-03-09
[9]
碳化硅外延片生长载盘 [P]. 
张郁坚 ;
马爽 ;
李锡光 .
中国专利 :CN222119470U ,2024-12-06
[10]
碳化硅外延设备及碳化硅外延层制备方法 [P]. 
刘兴昉 ;
杨尚宇 ;
闫果果 ;
王雷 ;
赵万顺 ;
孙国胜 ;
曾一平 .
中国专利 :CN115852490B ,2025-08-29
12345