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一种碳化硅外延生长的控制方法及碳化硅外延片
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011344467.X
申请日：
2020-11-26
公开(公告)号：
CN112466745B
公开(公告)日：
2021-03-09
发明(设计)人：
黄海林
冯淦
赵建辉
申请人：
申请人地址：
361001 福建省厦门市火炬高新区（翔安）产业区翔星路96号建业楼B座一层
IPC主分类号：
H01L2102
IPC分类号：
H01L2104
代理机构：
厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218
代理人：
刘小勤
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-09 | 公开 | 公开 |
| 2021-10-08 | 授权 | 授权 |
| 2021-03-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20201126 |