碳化硅外延生长设备的物料转移方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411847740.9

申请日：

2024-12-16

公开(公告)号：

CN119685932A

公开(公告)日：

2025-03-25

发明(设计)人：

陈豪杰范谞余乐俊吕威周辜名

申请人：

海南大学三亚研究院

申请人地址：

572024 海南省三亚市崖州区大学路7号海南大学生物医学工程学院D区

IPC主分类号：

C30B29/36

IPC分类号：

C30B25/16

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

海南省海口市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-25	公开	公开
2025-04-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 29/36申请日:20241216

共 50 条

[1]

碳化硅外延生长设备 [P].

陈豪杰 ;

范谞 ;

余乐俊 ;

吕威 ;

周辜名 .

中国专利 :CN223496708U ,2025-10-31

[2]

碳化硅外延生长设备 [P].

陈豪杰 ;

范谞 ;

余乐俊 ;

吕威 ;

周辜名 .

中国专利 :CN119392374A ,2025-02-07

[3]

碳化硅外延片的制备方法和碳化硅外延生长设备 [P].

李哲洋 ;

王迦卉 ;

于乐 ;

金锐 .

中国专利 :CN119877095B ,2025-08-08

[4]

碳化硅外延片的制备方法和碳化硅外延生长设备 [P].

李哲洋 ;

王迦卉 ;

于乐 ;

金锐 .

中国专利 :CN119877095A ,2025-04-25

[5]

碳化硅外延生长设备 [P].

邓家乐 ;

谢添乐 ;

巩小亮 ;

巴赛 ;

胡志坤 ;

石磊 ;

李彦斌 .

中国专利 :CN309106980S ,2025-02-11

[6]

碳化硅外延生长环和碳化硅外延生长装置 [P].

丁昌钊 ;

巩泉雨 ;

区灿林 ;

谢春林 ;

周维 .

中国专利 :CN222861711U ,2025-05-13

[7]

一种碳化硅外延生长方法及外延生长设备 [P].

张哲伟 ;

曹毅 ;

王威威 ;

杜昌 ;

严鹏 .

中国专利 :CN117604641A ,2024-02-27

[8]

一种碳化硅外延生长设备及方法 [P].

张广辉 ;

布丛郝 ;

徐玉田 ;

李达 .

中国专利 :CN119162668A ,2024-12-20

[9]

碳化硅外延片的生长方法及碳化硅外延片 [P].

张士良 ;

冯尹 ;

张鹏 ;

马万里 ;

钟泳生 .

中国专利 :CN120967508A ,2025-11-18

[10]

一种碳化硅外延生长设备 [P].

毛瑞川 ;

李辉 ;

丁柏松 ;

陆友峰 ;

孙国峰 .

中国专利 :CN118639325A ,2024-09-13

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