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等离子体处理装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201922289387.8
申请日：
2019-12-19
公开(公告)号：
CN210743912U
公开(公告)日：
2020-06-12
发明(设计)人：
蒋方亮
吴际
尚阳
蒋镇
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市昆山市周庄镇崇远路333号A2幢2楼203室（集群登记）
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385
代理人：
刘巍
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-12 | 授权 | 授权 |