MEMS器件及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110945051.1

申请日：

2021-08-17

公开(公告)号：

CN113660592A

公开(公告)日：

2021-11-16

发明(设计)人：

周延青潘华兵郑泉智胡铁刚

申请人：

申请人地址：

310012 浙江省杭州市黄姑山路4号

IPC主分类号：

H04R1904

IPC分类号：

H04R3100

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

刘畅

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-16	公开	公开
2021-12-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H04R 19/04 申请日:20210817

共 50 条

[1]

MEMS器件及其制备方法 [P].

周延青 ;

潘华兵 ;

郑泉智 ;

胡铁刚 .

中国专利 :CN113660592B ,2024-03-29

[2]

MEMS器件 [P].

周延青 ;

潘华兵 ;

郑泉智 ;

胡铁刚 .

中国专利 :CN215835558U ,2022-02-15

[3]

MEMS器件及其制备方法 [P].

李鑫 ;

郭亮良 .

中国专利 :CN110366083B ,2019-10-22

[4]

MEMS器件及其制备方法 [P].

李鑫 ;

郭亮良 .

中国专利 :CN110366090B ,2019-10-22

[5]

MEMS器件及其制备方法 [P].

李鑫 ;

郭亮良 .

中国专利 :CN110366089A ,2019-10-22

[6]

MEMS器件及其制备方法 [P].

淮永进 ;

韦仕贡 ;

陈建鹏 ;

张立明 .

中国专利 :CN115947298B ,2025-11-11

[7]

MEMS器件及其制备方法 [P].

徐泽洋 ;

鲁列微 ;

隋欢 .

中国专利 :CN118306946A ,2024-07-09

[8]

MEMS器件及其制备方法 [P].

庄瑞芬 .

中国专利 :CN114455537B ,2022-05-10

[9]

MEMS器件及其制备方法 [P].

黄风建 .

中国专利 :CN110116984A ,2019-08-13

[10]

MEMS器件及其制备方法 [P].

徐日 ;

石丹丹 ;

刘桐源 ;

杨国煌 .

中国专利 :CN119306174A ,2025-01-14

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