MEMS器件及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411423536.4

申请日：

2024-10-11

公开(公告)号：

CN119306174A

公开(公告)日：

2025-01-14

发明(设计)人：

徐日石丹丹刘桐源杨国煌

申请人：

中芯集成电路（宁波）有限公司

申请人地址：

315800 浙江省宁波市北仑区小港街道安居路335号3幢、4幢、5幢

IPC主分类号：

B81C1/00

IPC分类号：

B81C3/00 B81B7/02

代理机构：

北京市磐华律师事务所 11336

代理人：

高伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

浙江省宁波市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-07	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B81C 1/00申请日:20241011
2025-01-14	公开	公开

共 50 条

[1]

MEMS器件及其制备方法 [P].

淮永进 ;

韦仕贡 ;

陈建鹏 ;

张立明 .

中国专利 :CN115947298B ,2025-11-11

[2]

MEMS器件及其制备方法 [P].

徐泽洋 ;

鲁列微 ;

隋欢 .

中国专利 :CN118306946A ,2024-07-09

[3]

MEMS器件及其制备方法 [P].

庄瑞芬 .

中国专利 :CN114455537B ,2022-05-10

[4]

MEMS器件及其制备方法 [P].

周延青 ;

潘华兵 ;

郑泉智 ;

胡铁刚 .

中国专利 :CN113660592A ,2021-11-16

[5]

MEMS器件及其制备方法 [P].

李鑫 ;

郭亮良 .

中国专利 :CN110366083B ,2019-10-22

[6]

MEMS器件及其制备方法 [P].

李鑫 ;

郭亮良 .

中国专利 :CN110366090B ,2019-10-22

[7]

MEMS器件及其制备方法 [P].

黄风建 .

中国专利 :CN110116984A ,2019-08-13

[8]

MEMS器件及其制备方法 [P].

黄风建 ;

刘杰 .

中国专利 :CN110116983B ,2019-08-13

[9]

MEMS器件及其制备方法 [P].

周延青 ;

潘华兵 ;

郑泉智 ;

胡铁刚 .

中国专利 :CN113660592B ,2024-03-29

[10]

MEMS器件及其制备方法 [P].

李鑫 ;

郭亮良 .

中国专利 :CN110357031B ,2019-10-22

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