MEMS器件及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810118983.7

申请日：

2018-02-06

公开(公告)号：

CN110116983B

公开(公告)日：

2019-08-13

发明(设计)人：

黄风建刘杰

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

B81B700

IPC分类号：

B81B702 B81C300

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-13	公开	公开
2022-02-15	授权	授权
2019-09-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/00 申请日:20180206

共 50 条

[1]

MEMS器件及其制备方法 [P].

黄风建 .

中国专利 :CN110116984A ,2019-08-13

[2]

MEMS器件及其制备方法 [P].

淮永进 ;

韦仕贡 ;

陈建鹏 ;

张立明 .

中国专利 :CN115947298B ,2025-11-11

[3]

MEMS器件及其制备方法 [P].

徐泽洋 ;

鲁列微 ;

隋欢 .

中国专利 :CN118306946A ,2024-07-09

[4]

MEMS器件及其制备方法 [P].

庄瑞芬 .

中国专利 :CN114455537B ,2022-05-10

[5]

MEMS器件及其制备方法 [P].

周延青 ;

潘华兵 ;

郑泉智 ;

胡铁刚 .

中国专利 :CN113660592A ,2021-11-16

[6]

MEMS器件及其制备方法 [P].

李鑫 ;

郭亮良 .

中国专利 :CN110366083B ,2019-10-22

[7]

MEMS器件及其制备方法 [P].

李鑫 ;

郭亮良 .

中国专利 :CN110366090B ,2019-10-22

[8]

MEMS器件及其制备方法 [P].

徐日 ;

石丹丹 ;

刘桐源 ;

杨国煌 .

中国专利 :CN119306174A ,2025-01-14

[9]

MEMS器件及其制备方法 [P].

周延青 ;

潘华兵 ;

郑泉智 ;

胡铁刚 .

中国专利 :CN113660592B ,2024-03-29

[10]

MEMS器件及其制备方法 [P].

李鑫 ;

郭亮良 .

中国专利 :CN110357031B ,2019-10-22

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