具有掩模台功能的基于叠加电机的物料传输系统及其方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810034347.2

申请日：

2008-03-06

公开(公告)号：

CN101241311A

公开(公告)日：

2008-08-13

发明(设计)人：

李钢马喜宝周畅李若庆

申请人：

申请人地址：

201203上海市张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-08-13	公开	公开
2017-05-17	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101751578152 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2008100343472 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号
2010-06-09	授权	授权
2008-10-08	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

具有调节功能的物料传输系统 [P].

余胜东 .

中国专利 :CN107055092A ,2017-08-18

[2]

一种掩模版的传输系统以及传输方法 [P].

王刚 ;

黄栋梁 ;

张荣军 .

中国专利 :CN109426082A ,2019-03-05

[3]

具有掩模交接保护功能的掩模台、方法及光刻设备 [P].

江旭初 ;

李生强 ;

董俊清 ;

徐涛 .

中国专利 :CN103019035A ,2013-04-03

[4]

工件台和掩模台的同步控制方法及其系统 [P].

吴立伟 ;

杨晓燕 .

中国专利 :CN103135357A ,2013-06-05

[5]

工件台和掩模台的同步控制方法及其系统 [P].

杨晓燕 ;

董俊清 ;

吴立伟 .

中国专利 :CN103293861A ,2013-09-11

[6]

平面电机及应用其的掩模台系统 [P].

黎刚生 ;

范哲光 .

中国专利 :CN102545528B ,2012-07-04

[7]

具有物料传输功能的注塑机 [P].

陈昆强 .

中国专利 :CN212446064U ,2021-02-02

[8]

一种基于物料传输系统的信息传输方法 [P].

刘明哲 ;

徐皑冬 ;

金妮 ;

王晨曦 .

中国专利 :CN104426992B ,2015-03-18

[9]

一种具有工位切换功能的掩模台 [P].

江旭初 ;

周清华 ;

王鑫鑫 ;

徐涛 .

中国专利 :CN103376664B ,2013-10-30

[10]

物料传输方法、机器人、料台和物料传输系统 [P].

许爱功 .

中国专利 :CN113772348A ,2021-12-10

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