一种掩模版的传输系统以及传输方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710719532.4

申请日：

2017-08-21

公开(公告)号：

CN109426082A

公开(公告)日：

2019-03-05

发明(设计)人：

王刚黄栋梁张荣军

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20170821
2019-03-05	公开	公开

共 50 条

[1]

掩模版传输系统 [P].

程永锋 ;

王邵玉 .

中国专利 :CN103984208B ,2014-08-13

[2]

掩模版传输系统 [P].

马方波 ;

吴福龙 .

中国专利 :CN206209287U ,2017-05-31

[3]

一种掩模版传输装置及传输方法 [P].

姜晓玉 ;

王长刚 .

中国专利 :CN105988303B ,2016-10-05

[4]

一种掩模版Y向定位装置和方法以及一种掩模版传输系统 [P].

马方波 ;

吴福龙 .

中国专利 :CN107783381B ,2018-03-09

[5]

掩模版传输装置和方法 [P].

郑教增 ;

刘晓 ;

徐伟 .

中国专利 :CN103863821B ,2014-06-18

[6]

光掩模版传输轨道以及自动化传输系统 [P].

高小妍 ;

周毅仲 ;

孙俊丽 ;

房小飞 ;

李晓杰 .

中国专利 :CN118833577A ,2024-10-25

[7]

一种掩模版传输组件及光刻系统 [P].

王浩楠 ;

关宏武 ;

郎平 ;

林继柱 ;

佀海燕 ;

温鹏 .

中国专利 :CN114280897A ,2022-04-05

[8]

一种掩模版传输组件及光刻系统 [P].

王浩楠 ;

关宏武 ;

郎平 ;

林继柱 ;

佀海燕 ;

温鹏 .

中国专利 :CN114280897B ,2024-01-26

[9]

一种用于掩模版的对准装置、传输系统及AOI设备 [P].

李炳然 .

中国专利 :CN120779686A ,2025-10-14

[10]

掩模版传输系统及方法、光刻设备及方法 [P].

王刚 ;

张荣军 ;

黄栋梁 .

中国专利 :CN109388031A ,2019-02-26

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