一种掩模版传输组件及光刻系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111627327.8

申请日：

2021-12-28

公开(公告)号：

CN114280897B

公开(公告)日：

2024-01-26

发明(设计)人：

王浩楠关宏武郎平林继柱佀海燕温鹏

申请人：

北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

工业和信息化部电子专利中心 11010

代理人：

田卫平

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-26	授权	授权

共 50 条

[1]

一种掩模版传输组件及光刻系统 [P].

王浩楠 ;

关宏武 ;

郎平 ;

林继柱 ;

佀海燕 ;

温鹏 .

中国专利 :CN114280897A ,2022-04-05

[2]

掩模版传输系统 [P].

程永锋 ;

王邵玉 .

中国专利 :CN103984208B ,2014-08-13

[3]

掩模版传输系统 [P].

马方波 ;

吴福龙 .

中国专利 :CN206209287U ,2017-05-31

[4]

一种掩模版传输装置及传输方法 [P].

姜晓玉 ;

王长刚 .

中国专利 :CN105988303B ,2016-10-05

[5]

一种掩模版的传输系统以及传输方法 [P].

王刚 ;

黄栋梁 ;

张荣军 .

中国专利 :CN109426082A ,2019-03-05

[6]

一种掩模版及光刻机 [P].

胡健 ;

徐阳 ;

周世均 ;

王晓龙 ;

郑海昌 ;

陈力钧 .

中国专利 :CN114326291A ,2022-04-12

[7]

掩模版厚度检测装置、存储机构、传输机构及光刻系统 [P].

牛增欣 ;

郑教增 .

中国专利 :CN110361936A ,2019-10-22

[8]

一种掩模台及光刻系统 [P].

蔡晨 ;

王鑫鑫 ;

齐芊枫 .

中国专利 :CN111650815B ,2020-09-11

[9]

一种掩模版及光刻机能量的监控系统 [P].

张龙 ;

王晓龙 .

中国专利 :CN216748435U ,2022-06-14

[10]

一种光掩模组件及光刻系统 [P].

林锦鸿 ;

蔡奇澄 ;

贺遵火 ;

孙亚东 .

中国专利 :CN111913346A ,2020-11-10

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