一种掩模版传输装置及传输方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510087602.X

申请日：

2015-02-26

公开(公告)号：

CN105988303B

公开(公告)日：

2016-10-05

发明(设计)人：

姜晓玉王长刚

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-09-12	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101759027965 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:201510087602X 变更事项:申请人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
2018-03-30	授权	授权
2016-11-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101686681916 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:201510087602X 申请日:20150226
2016-10-05	公开	公开

共 50 条

[1]

掩模版传输装置和方法 [P].

郑教增 ;

刘晓 ;

徐伟 .

中国专利 :CN103863821B ,2014-06-18

[2]

掩模版传输系统 [P].

程永锋 ;

王邵玉 .

中国专利 :CN103984208B ,2014-08-13

[3]

掩模版传输系统 [P].

马方波 ;

吴福龙 .

中国专利 :CN206209287U ,2017-05-31

[4]

掩模传输装置、曝光装置及掩模传输方法 [P].

王长刚 ;

姜杰 .

中国专利 :CN105807574B ,2016-07-27

[5]

掩模版定位及传输装置 [P].

邹钱生 ;

王长刚 .

中国专利 :CN203350609U ,2013-12-18

[6]

一种掩模版的传输系统以及传输方法 [P].

王刚 ;

黄栋梁 ;

张荣军 .

中国专利 :CN109426082A ,2019-03-05

[7]

一种掩模版传输组件及光刻系统 [P].

王浩楠 ;

关宏武 ;

郎平 ;

林继柱 ;

佀海燕 ;

温鹏 .

中国专利 :CN114280897A ,2022-04-05

[8]

一种掩模版传输组件及光刻系统 [P].

王浩楠 ;

关宏武 ;

郎平 ;

林继柱 ;

佀海燕 ;

温鹏 .

中国专利 :CN114280897B ,2024-01-26

[9]

掩模传输装置及掩模传输系统 [P].

林继柱 ;

孙敏 ;

赵东雷 ;

符瑶 .

中国专利 :CN115258593B ,2025-01-24

[10]

掩模传输装置及掩模传输系统 [P].

王浩楠 ;

程秀全 ;

刘嘉玮 ;

史文明 ;

常美榕 ;

刘颖 .

中国专利 :CN115477138A ,2022-12-16

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