掩模版定位及传输装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320353862.3

申请日：

2013-06-19

公开(公告)号：

CN203350609U

公开(公告)日：

2013-12-18

发明(设计)人：

邹钱生王长刚

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-12-18	授权	授权
2017-08-08	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101756847049 IPC(主分类):G03F 9/00 专利号:ZL2013203538623 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号

共 50 条

[1]

掩模版传输系统 [P].

马方波 ;

吴福龙 .

中国专利 :CN206209287U ,2017-05-31

[2]

掩模版传送装置、掩模版处理设备及掩模版传送方法 [P].

梁贤石 ;

金成昱 ;

金帅炯 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN111908124A ,2020-11-10

[3]

掩模版传输装置和方法 [P].

郑教增 ;

刘晓 ;

徐伟 .

中国专利 :CN103863821B ,2014-06-18

[4]

一种掩模版传输装置及传输方法 [P].

姜晓玉 ;

王长刚 .

中国专利 :CN105988303B ,2016-10-05

[5]

曝光用掩模版及掩模版组 [P].

向洋 ;

张波 ;

彭林 ;

叶宁 ;

李凡 .

中国专利 :CN209149063U ,2019-07-23

[6]

崔丹丹 ;

裘立强 ;

王毅 .

中国专利 :CN216450605U ,2022-05-06

[7]

刘运金 ;

赵欢 ;

瞿智明 ;

杨尚华 ;

陈涛 .

中国专利 :CN217933845U ,2022-11-29

[8]

不公告发明人 .

中国专利 :CN208188580U ,2018-12-04

[9]

掩模版承载机构及掩模版量测机台 [P].

毛汛 .

中国专利 :CN117826546B ,2024-10-22

[10]

掩模版承载机构及掩模版量测机台 [P].

毛汛 .

中国专利 :CN117826546A ,2024-04-05

← 1 2 3 4 5 →