掩模版传输装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210528214.7

申请日：

2012-12-07

公开(公告)号：

CN103863821B

公开(公告)日：

2014-06-18

发明(设计)人：

郑教增刘晓徐伟

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

B65G4907

IPC分类号：

B65G4790 B25J900

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-08	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101756772275 IPC(主分类):B65G 49/07 专利号:ZL2012105282147 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号
2014-07-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583762153 IPC(主分类):B65G 49/07 专利申请号:2012105282147 申请日:20121207
2016-12-21	授权	授权
2014-06-18	公开	公开

共 50 条

[1]

一种掩模版传输装置及传输方法 [P].

姜晓玉 ;

王长刚 .

中国专利 :CN105988303B ,2016-10-05

[2]

掩模版传输系统 [P].

程永锋 ;

王邵玉 .

中国专利 :CN103984208B ,2014-08-13

[3]

掩模版传输系统 [P].

马方波 ;

吴福龙 .

中国专利 :CN206209287U ,2017-05-31

[4]

掩模版定位及传输装置 [P].

邹钱生 ;

王长刚 .

中国专利 :CN203350609U ,2013-12-18

[5]

掩模传输装置、曝光装置及掩模传输方法 [P].

王长刚 ;

姜杰 .

中国专利 :CN105807574B ,2016-07-27

[6]

一种掩模版清洗装置和掩模版清洗方法 [P].

蒋新 ;

沈宗豪 ;

施利君 .

中国专利 :CN110813888A ,2020-02-21

[7]

一种掩模版的传输系统以及传输方法 [P].

王刚 ;

黄栋梁 ;

张荣军 .

中国专利 :CN109426082A ,2019-03-05

[8]

一种掩模版Y向定位装置和方法以及一种掩模版传输系统 [P].

马方波 ;

吴福龙 .

中国专利 :CN107783381B ,2018-03-09

[9]

一种掩模传输装置和方法 [P].

郑教增 ;

郑锋标 .

中国专利 :CN110658687B ,2020-01-07

[10]

一种掩模版传输组件及光刻系统 [P].

王浩楠 ;

关宏武 ;

郎平 ;

林继柱 ;

佀海燕 ;

温鹏 .

中国专利 :CN114280897A ,2022-04-05

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