掩模传输装置及掩模传输系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210935377.0

申请日：

2022-08-05

公开(公告)号：

CN115258593B

公开(公告)日：

2025-01-24

发明(设计)人：

林继柱孙敏赵东雷符瑶

申请人：

北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号

IPC主分类号：

B65G43/08

IPC分类号：

B65G47/90

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

毕翔宇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-24	授权	授权

共 50 条

[1]

掩模传输装置及掩模传输系统 [P].

王浩楠 ;

程秀全 ;

刘嘉玮 ;

史文明 ;

常美榕 ;

刘颖 .

中国专利 :CN115477138A ,2022-12-16

[2]

掩模传输装置、曝光装置及掩模传输方法 [P].

王长刚 ;

姜杰 .

中国专利 :CN105807574B ,2016-07-27

[3]

掩模版传输系统 [P].

程永锋 ;

王邵玉 .

中国专利 :CN103984208B ,2014-08-13

[4]

掩模版传输系统 [P].

马方波 ;

吴福龙 .

中国专利 :CN206209287U ,2017-05-31

[5]

掩模版定位及传输装置 [P].

邹钱生 ;

王长刚 .

中国专利 :CN203350609U ,2013-12-18

[6]

取放版手单元、掩模传输系统和掩模传输方法 [P].

吴芬 ;

郑教增 ;

姜杰 ;

陈淮阳 .

中国专利 :CN110658684A ,2020-01-07

[7]

一种掩模版传输装置及传输方法 [P].

姜晓玉 ;

王长刚 .

中国专利 :CN105988303B ,2016-10-05

[8]

光掩模版传输轨道以及自动化传输系统 [P].

高小妍 ;

周毅仲 ;

孙俊丽 ;

房小飞 ;

李晓杰 .

中国专利 :CN118833577A ,2024-10-25

[9]

掩模版传输装置和方法 [P].

郑教增 ;

刘晓 ;

徐伟 .

中国专利 :CN103863821B ,2014-06-18

[10]

掩模传输系统四象限对准装置 [P].

谭民 ;

徐德 ;

王秀青 ;

赵晓光 ;

刘云 ;

汪建华 .

中国专利 :CN100478789C ,2007-04-04

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