氮化镓基板的制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201811110281.0
申请日
2018-09-21
公开(公告)号
CN109148268A
公开(公告)日
2019-01-04
发明(设计)人
张海涛
申请人
申请人地址
214101 江苏省无锡市滨湖区胜利新村61-7号201
IPC主分类号
H01L2102
IPC分类号
代理机构
北京智客联合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11700
代理人
杨群
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
氮化镓单晶基板以及氮化镓单晶基板的制造方法 [P]. 
佐藤隆 ;
藤本哲尔 ;
北村寿朗 ;
柴田真佐知 .
日本专利 :CN120505707A ,2025-08-19
[2]
氮化镓单晶基板以及氮化镓单晶基板的制造方法 [P]. 
藤本哲尔 ;
佐藤隆 ;
铃木贵征 ;
北村寿朗 ;
柴田真佐知 .
日本专利 :CN120505705A ,2025-08-19
[3]
氮化镓单晶基板以及氮化镓单晶基板的制造方法 [P]. 
佐藤隆 ;
藤本哲尔 ;
北村寿朗 ;
柴田真佐知 .
日本专利 :CN120505706A ,2025-08-19
[4]
氮化镓单晶基板及其制造方法 [P]. 
平松和政 ;
三宅秀人 ;
坊山晋也 ;
前田尚良 ;
小野善伸 .
中国专利 :CN1759469A ,2006-04-12
[5]
制造氮化镓基板的方法及由此制造的氮化镓基板 [P]. 
林圣根 ;
朴甫益 ;
朴喆民 ;
李东龙 ;
金宇理汉 ;
金俊会 ;
裵峻莹 ;
李原兆 ;
崔准成 .
中国专利 :CN103489970A ,2014-01-01
[6]
氮化镓基板的制造方法 [P]. 
藤仓序章 .
中国专利 :CN103367137A ,2013-10-23
[7]
氮化镓模板基板的制造方法和氮化镓模板基板 [P]. 
松田三智子 ;
藤仓序章 ;
今野泰一郎 .
中国专利 :CN103305917A ,2013-09-18
[8]
氮化镓晶体、氮化镓基板及氮化镓晶体的制造方法 [P]. 
三川丰 ;
栗本浩平 ;
包全喜 .
日本专利 :CN117897521A ,2024-04-16
[9]
制造氮化镓基板的方法和由该方法制造的氮化镓基板 [P]. 
林圣根 ;
朴甫益 ;
禹广济 ;
金宇理汉 ;
金俊会 ;
朴喆民 ;
裵峻莹 ;
李东龙 ;
李原兆 ;
崔准成 .
中国专利 :CN103526296A ,2014-01-22
[10]
单晶氮化镓基板及其制造方法 [P]. 
朴起延 ;
金华睦 ;
徐大雄 ;
孙暎丸 .
中国专利 :CN103855264A ,2014-06-11