一种纳米结构三维形貌测量方法及装置

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专利类型
发明
申请号
CN201010223106.X
申请日
2010-07-12
公开(公告)号
CN101881599A
公开(公告)日
2010-11-10
发明(设计)人
刘世元 张传维 陈修国
申请人
申请人地址
430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
IPC主分类号
G01B1100
IPC分类号
G01B1124
代理机构
华中科技大学专利中心 42201
代理人
曹葆青
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
三维形貌的测量方法及测量装置 [P]. 
黄鑫 .
中国专利 :CN112212815B ,2025-04-04
[2]
三维形貌的测量方法及测量装置 [P]. 
黄鑫 .
中国专利 :CN112212815A ,2021-01-12
[3]
线条三维形貌测量方法及线宽测量方法 [P]. 
高思田 ;
李伟 ;
王鹤群 ;
施玉书 ;
李琪 ;
李适 .
中国专利 :CN105157557A ,2015-12-16
[4]
一种纳米结构三维形貌小角X射线散射测量方法及装置 [P]. 
刘世元 ;
陈修国 ;
杨天娟 ;
马健源 ;
刘章勇 ;
张家豪 .
中国专利 :CN114608494B ,2022-06-10
[5]
一种结构光三维形貌测量装置 [P]. 
刘浪 ;
庞淑屏 ;
万小新 ;
刘威 ;
战玉臣 .
中国专利 :CN201974160U ,2011-09-14
[6]
一种三维形貌测量系统及高度测量方法 [P]. 
刘璐宁 ;
郑增强 ;
欧昌东 ;
苗丹 ;
姜雯 .
中国专利 :CN120820095A ,2025-10-21
[7]
一种剪切干涉变焦三维形貌测量方法及测量系统 [P]. 
朱金龙 ;
张楚苗 ;
于哲 .
中国专利 :CN120293030A ,2025-07-11
[8]
一种镜面物体三维形貌测量方法及装置 [P]. 
张宗华 ;
王月敏 ;
高楠 ;
孟召宗 .
中国专利 :CN109357632A ,2019-02-19
[9]
一种高温物体自动化三维形貌测量装置及测量方法 [P]. 
李中伟 ;
史玉升 ;
韩利亚 ;
钟凯 ;
杨瑞文 ;
韩沛文 ;
叶浩 ;
郑伟涛 .
中国专利 :CN106908015A ,2017-06-30
[10]
一种基于数字全息扫描的三维形貌测量装置及测量方法 [P]. 
姚震 ;
吴易明 ;
樊鹏格 ;
朱帆 ;
尹逊龙 .
中国专利 :CN106643550B ,2017-05-10