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一种纳米结构三维形貌测量方法及装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201010223106.X
申请日：
2010-07-12
公开(公告)号：
CN101881599A
公开(公告)日：
2010-11-10
发明(设计)人：
刘世元
张传维
陈修国
申请人：
申请人地址：
430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
IPC主分类号：
G01B1100
IPC分类号：
G01B1124
代理机构：
华中科技大学专利中心 42201
代理人：
曹葆青
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2010-11-10 | 公开 | 公开 |
| 2010-12-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101026283019 IPC(主分类):G01B 11/00 专利申请号:201010223106X 申请日:20100712 |
| 2012-01-25 | 授权 | 授权 |
| 2018-02-16 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):G01B 11/00 登记生效日:20180130 变更事项:专利权人 变更前权利人:华中科技大学 变更后权利人:武汉颐光科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 变更后权利人:430075 湖北省武汉市高新大道999号未来科技城G区C2座206室 |