一种气体分配装置

被引：0

申请号：

CN202221216309.0

申请日：

2022-05-18

公开(公告)号：

CN218372508U

公开(公告)日：

2023-01-24

发明(设计)人：

杨德赞周仁荒见淳一吴飚

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区新硕路9-6-2

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

王龙

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-24	授权	授权

共 50 条

[1]

气体分配装置 [P].

朴万成 ;

黄宇哲 ;

李成哲 ;

金哲男 ;

金上万 ;

李权星 ;

王宏刚 ;

王树才 ;

申光哲 ;

梁旭光 .

中国专利 :CN202193843U ,2012-04-18

[2]

一种气体分配装置 [P].

鄢鹤 .

中国专利 :CN208934926U ,2019-06-04

[3]

一种气体分配装置 [P].

张世渊 ;

骈松 ;

张晓辉 ;

李黎明 ;

李朋喜 ;

宋时莉 ;

郝珍 ;

王晓威 ;

杨华 ;

孙邦兴 .

中国专利 :CN216131760U ,2022-03-25

[4]

一种气体分配装置 [P].

苏永光 .

中国专利 :CN209355273U ,2019-09-06

[5]

一种气体分配装置 [P].

吕会颖 ;

陈立锋 ;

孙健 ;

陈军 ;

霍英男 .

中国专利 :CN214066410U ,2021-08-27

[6]

一种气体均匀分配装置 [P].

朱志平 ;

董红敏 .

中国专利 :CN203837758U ,2014-09-17

[7]

一种反应腔室的气体分配装置 [P].

易重洲 .

中国专利 :CN210136851U ,2020-03-10

[8]

一种气体分配装置 [P].

魏有雯 ;

吴凤丽 ;

董文惠 ;

郭月 .

中国专利 :CN116641041B ,2024-11-15

[9]

一种气体分配装置 [P].

蒲奇兵 ;

蒋文军 ;

闫晓晖 ;

严翔 .

中国专利 :CN222205416U ,2024-12-20

[10]

一种气体分配装置 [P].

张世渊 ;

骈松 ;

张晓辉 ;

李黎明 ;

李朋喜 ;

宋时莉 ;

郝珍 ;

王晓威 ;

杨华 ;

孙邦兴 .

中国专利 :CN113566118A ,2021-10-29

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