一种气体分配装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310508822.X

申请日：

2023-05-06

公开(公告)号：

CN116641041B

公开(公告)日：

2024-11-15

发明(设计)人：

魏有雯吴凤丽董文惠郭月

申请人：

拓荆科技(上海)有限公司

申请人地址：

201306 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室

IPC主分类号：

C23C16/455

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

徐伟

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-15	授权	授权

共 50 条

[1]

气体分配装置 [P].

李恩华 ;

阳方义 ;

陈华贵 .

中国专利 :CN120022484A ,2025-05-23

[2]

一种气体分配装置 [P].

鄢鹤 .

中国专利 :CN208934926U ,2019-06-04

[3]

一种气体分配装置 [P].

蒲奇兵 ;

蒋文军 ;

闫晓晖 ;

严翔 .

中国专利 :CN222205416U ,2024-12-20

[4]

一种气体分配装置 [P].

杨德赞 ;

周仁 ;

荒见淳一 ;

吴飚 .

中国专利 :CN218372508U ,2023-01-24

[5]

一种气体分配装置 [P].

张世渊 ;

骈松 ;

张晓辉 ;

李黎明 ;

李朋喜 ;

宋时莉 ;

郝珍 ;

王晓威 ;

杨华 ;

孙邦兴 .

中国专利 :CN113566118A ,2021-10-29

[6]

一种气体分配装置 [P].

张世渊 ;

骈松 ;

张晓辉 ;

李黎明 ;

李朋喜 ;

宋时莉 ;

郝珍 ;

王晓威 ;

杨华 ;

孙邦兴 .

中国专利 :CN216131760U ,2022-03-25

[7]

一种气体分配装置 [P].

鄢鹤 .

中国专利 :CN110230714A ,2019-09-13

[8]

一种气体分配装置 [P].

苏永光 .

中国专利 :CN209355273U ,2019-09-06

[9]

一种气体分配装置 [P].

吕会颖 ;

陈立锋 ;

孙健 ;

陈军 ;

霍英男 .

中国专利 :CN214066410U ,2021-08-27

[10]

气体分配装置 [P].

朴万成 ;

黄宇哲 ;

李成哲 ;

金哲男 ;

金上万 ;

李权星 ;

王宏刚 ;

王树才 ;

申光哲 ;

梁旭光 .

中国专利 :CN202193843U ,2012-04-18

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