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晶圆传送装置和晶圆传送方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911243493.0
申请日：
2019-12-06
公开(公告)号：
CN112928050A
公开(公告)日：
2021-06-08
发明(设计)人：
高明昕 张成明
申请人：
申请人地址：
201800 上海市嘉定区城北路235号1号楼
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535
代理人：
刘元霞
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-06-08 公开 公开
2021-06-25 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20191206
共 50 条
[1]
晶圆传送手臂、晶圆传送装置及晶圆传送方法 [P]. 
乔鹏 .
中国专利 :CN119725189A ,2025-03-28
[2]
晶圆传送装置、传送方法和晶圆传送控制装置 [P]. 
郑分成 .
中国专利 :CN113658889A ,2021-11-16
[3]
晶圆传送装置、传送方法和晶圆传送控制装置 [P]. 
郑分成 .
中国专利 :CN113658889B ,2024-02-06
[4]
晶圆传送装置以及晶圆传送方法 [P]. 
李春龙 ;
李俊峰 .
中国专利 :CN102719895A ,2012-10-10
[5]
晶圆传送装置及晶圆传送方法 [P]. 
许嘉祐 ;
申世泓 ;
颜炎 ;
涂伟峰 ;
黄政贤 .
中国专利 :CN112838037A ,2021-05-25
[6]
一种晶圆传送装置和晶圆传送方法 [P]. 
周斌 ;
陈新 ;
谭志豪 .
中国专利 :CN115424965A ,2022-12-02
[7]
晶圆装载装置和晶圆传送装置 [P]. 
张效进 ;
蒋开伟 .
中国专利 :CN221102054U ,2024-06-07
[8]
晶圆传送装置 [P]. 
林立 ;
吴孝哲 ;
林宗贤 ;
吴龙江 ;
胡广严 .
中国专利 :CN208954960U ,2019-06-07
[9]
晶圆传送装置 [P]. 
熊紫超 ;
黄海辉 ;
刘高山 ;
王星 ;
周鹏 ;
张小强 .
中国专利 :CN213184237U ,2021-05-11
[10]
晶圆传送装置 [P]. 
傅荣 .
中国专利 :CN114267617A ,2022-04-01
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