晶圆传送装置以及晶圆传送方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110077731.2

申请日：

2011-03-29

公开(公告)号：

CN102719895A

公开(公告)日：

2012-10-10

发明(设计)人：

李春龙李俊峰

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

C30B3302

IPC分类号：

代理机构：

北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙) 11345

代理人：

陈红

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-23	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101729774778 IPC(主分类):C30B 33/02 专利申请号:2011100777312 申请公布日:20121010
2013-01-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101383532180 IPC(主分类):C30B 33/02 专利申请号:2011100777312 申请日:20110329
2012-10-10	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆传送手臂、晶圆传送装置及晶圆传送方法 [P].

乔鹏 .

中国专利 :CN119725189A ,2025-03-28

[2]

晶圆传送装置和晶圆传送方法 [P].

高明昕 ;

张成明 .

中国专利 :CN112928050A ,2021-06-08

[3]

晶圆传送装置及晶圆传送方法 [P].

许嘉祐 ;

申世泓 ;

颜炎 ;

涂伟峰 ;

黄政贤 .

中国专利 :CN112838037A ,2021-05-25

[4]

晶圆传送装置、传送方法和晶圆传送控制装置 [P].

郑分成 .

中国专利 :CN113658889A ,2021-11-16

[5]

晶圆传送装置、传送方法和晶圆传送控制装置 [P].

郑分成 .

中国专利 :CN113658889B ,2024-02-06

[6]

晶圆传送装置 [P].

林立 ;

吴孝哲 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

胡广严 .

中国专利 :CN208954960U ,2019-06-07

[7]

晶圆传送装置 [P].

熊紫超 ;

黄海辉 ;

刘高山 ;

王星 ;

周鹏 ;

张小强 .

中国专利 :CN213184237U ,2021-05-11

[8]

晶圆传送装置 [P].

傅荣 .

中国专利 :CN114267617A ,2022-04-01

[9]

晶圆传送装置 [P].

钟蔚 ;

马海 ;

李洪燕 .

中国专利 :CN201364888Y ,2009-12-16

[10]

晶圆传送装置 [P].

田程 ;

严大生 ;

梁振兴 ;

郭海涛 .

中国专利 :CN216818301U ,2022-06-24

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