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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-01-25 | 公开 | 公开 |
| 2013-05-01 | 授权 | 授权 |
| 2015-09-02 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101623047761 IPC(主分类):C23C 22/48 专利号:ZL2010102316871 申请日:20100713 授权公告日:20130501 终止日期:20140713 |
| 2012-03-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101203918327 IPC(主分类):C23C 22/48 专利申请号:2010102316871 申请日:20100713 |