一种磁控溅射镀膜系统及其控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910714168.1

申请日：

2019-08-03

公开(公告)号：

CN110592542A

公开(公告)日：

2019-12-20

发明(设计)人：

乔利杰宋述兵杨会生庞晓露王瑞俊郑宝林

申请人：

申请人地址：

255000 山东省淄博市桓台县唐山镇工业路188号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1454 C23C1456

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20190803
2019-12-20	公开	公开

共 50 条

[1]

一种磁控溅射镀膜设备及其控制方法 [P].

吴忠振 ;

崔岁寒 ;

郭宇翔 ;

马正永 .

中国专利 :CN114231932B ,2024-04-19

[2]

磁控溅射镀膜系统 [P].

张迅 ;

阳威 ;

欧阳小园 ;

易伟华 .

中国专利 :CN103805954B ,2014-05-21

[3]

磁控溅射镀膜设备和磁控溅射镀膜方法 [P].

杨伟顺 ;

蒙峻 ;

蔺晓建 ;

马向利 ;

张晓鹰 .

中国专利 :CN107794496A ,2018-03-13

[4]

磁控溅射镀膜系统 [P].

张迅 ;

张伯伦 ;

李景艳 ;

易伟华 .

中国专利 :CN103938168B ,2014-07-23

[5]

磁控溅射镀膜系统 [P].

张迅 ;

阳威 ;

欧阳小园 ;

易伟华 .

中国专利 :CN103820762A ,2014-05-28

[6]

磁控溅射镀膜系统 [P].

郑芳平 ;

张迅 ;

易伟华 .

中国专利 :CN103866255B ,2014-06-18

[7]

磁控溅射镀膜系统 [P].

余荣沾 ;

王忠雨 ;

蔡东锋 ;

陈卫中 ;

张欣 ;

王克宁 .

中国专利 :CN209443080U ,2019-09-27

[8]

磁控溅射镀膜系统 [P].

余荣沾 ;

王忠雨 ;

蔡东锋 ;

陈卫中 ;

张欣 ;

王克宁 .

中国专利 :CN209456556U ,2019-10-01

[9]

一种磁控溅射镀膜设备及其镀膜方法 [P].

张绍璞 ;

范刚 ;

黄兴盛 ;

胡征宇 .

中国专利 :CN109881170A ,2019-06-14

[10]

一种磁控溅射镀膜系统 [P].

曹正瑞 .

中国专利 :CN215947398U ,2022-03-04

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