用于氧化铝膜的制备装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821744909.8

申请日：

2018-10-24

公开(公告)号：

CN209098806U

公开(公告)日：

2019-07-12

发明(设计)人：

陈五奎刘强陈嘉豪徐文州陈磊

申请人：

申请人地址：

614000 四川省乐山市高新区建业大道888号

IPC主分类号：

C23C1640

IPC分类号：

C23C16455

代理机构：

成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232

代理人：

李玉兴

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-12	授权	授权

共 50 条

[1]

用于制备氧化铝膜的PECVD装置 [P].

陈五奎 ;

刘强 ;

耿荣军 ;

陈辉 ;

石平 .

中国专利 :CN208980792U ,2019-06-14

[2]

用于制备硅片表面氧化铝膜的装置 [P].

陈五奎 ;

刘强 ;

曹卫宏 ;

任超 ;

陈磊 .

中国专利 :CN208980794U ,2019-06-14

[3]

一种氧化铝膜制备装置 [P].

陈五奎 ;

刘强 ;

陈磊 ;

庞坤 ;

查恩 .

中国专利 :CN208933468U ,2019-06-04

[4]

氧化铝膜制备装置 [P].

陈五奎 ;

刘强 ;

徐文州 ;

陈磊 ;

庞坤 .

中国专利 :CN109023301A ,2018-12-18

[5]

氧化铝膜制备装置 [P].

陈五奎 ;

刘强 ;

陈磊 ;

徐文州 ;

查恩 .

中国专利 :CN208980793U ,2019-06-14

[6]

一种透明高阻隔氧化铝膜制备装置 [P].

张新岳 .

中国专利 :CN216473469U ,2022-05-10

[7]

一种氧化铝制备设备、氧化铝膜制备方法及氧化铝膜 [P].

于钦芳 ;

罗万里 .

中国专利 :CN118703933A ,2024-09-27

[8]

用于太阳能电池加工的氧化铝膜的制备方法 [P].

牛家慧 ;

赵杰 ;

张星 ;

李光胜 ;

丰平 ;

陈实 ;

刘飞 ;

陈兆民 ;

赵刚 .

中国专利 :CN119307884A ,2025-01-14

[9]

氧化铝的制备装置以及制备方法、制备得到的氧化铝 [P].

鲍俊 ;

桑小义 ;

杨清河 ;

聂红 ;

曾双亲 ;

刘滨 .

中国专利 :CN120459925A ,2025-08-12

[10]

PECVD提高氧化铝背膜钝化效果的制备方法 [P].

蒋万昌 ;

王森栋 .

中国专利 :CN113293358A ,2021-08-24

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