一种12吋晶圆片摆臂固晶装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120520164.2

申请日：

2021-03-11

公开(公告)号：

CN214313165U

公开(公告)日：

2021-09-28

发明(设计)人：

陈能强

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市梁溪区会西路30-28号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

无锡智麦知识产权代理事务所(普通合伙) 32492

代理人：

刘咏华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种12吋晶圆片摆臂固晶装置及使用方法 [P].

陈能强 .

中国专利 :CN112928054A ,2021-06-08

[2]

固晶摆臂装置及固晶设备 [P].

胡新平 ;

张燕 .

中国专利 :CN119812061A ,2025-04-11

[3]

晶圆双摆臂排片装置 [P].

胡毅 ;

杨国运 .

中国专利 :CN222914739U ,2025-05-27

[4]

一种固晶摆臂装置 [P].

刘维强 ;

周灿 ;

陈勇伶 .

中国专利 :CN216624215U ,2022-05-27

[5]

一种LED固晶的双摆臂固晶装置 [P].

胡新荣 ;

梁志宏 ;

胡新平 ;

陈玮麟 .

中国专利 :CN209766467U ,2019-12-10

[6]

固晶摆臂机构及固晶设备 [P].

胡新荣 ;

张燕 ;

方俊杰 .

中国专利 :CN223693098U ,2025-12-19

[7]

一种12吋晶圆盒自动解锁装置 [P].

张旭东 ;

石春潮 .

中国专利 :CN214378367U ,2021-10-08

[8]

一种双摆臂固晶装置 [P].

孙杰 ;

杨吉明 ;

王彦彦 ;

徐海军 .

中国专利 :CN216902812U ,2022-07-05

[9]

一种固晶机摆臂装置 [P].

李金钵 ;

郭艳飞 ;

边岩 .

中国专利 :CN221041038U ,2024-05-28

[10]

一种用8吋晶圆生产线制造12吋晶圆的生产方法 [P].

程仕红 ;

栗伟斌 ;

王英广 ;

朱连迎 ;

桂美来 ;

王振辉 ;

赖辰辰 .

中国专利 :CN111799184B ,2020-10-20

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