一种用8吋晶圆生产线制造12吋晶圆的生产方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010534048.6

申请日：

2020-06-12

公开(公告)号：

CN111799184B

公开(公告)日：

2020-10-20

发明(设计)人：

程仕红栗伟斌王英广朱连迎桂美来王振辉赖辰辰

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙岗区宝龙街道清风大道28号安博科技厂区1号厂房1、5、6层

IPC主分类号：

H01L2150

IPC分类号：

H01L21304 H01L21683 H01L2178

代理机构：

深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414

代理人：

李金伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-02	授权	授权
2020-10-20	公开	公开
2020-11-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/50 申请日:20200612
2022-03-04	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/50 变更事项:专利权人变更前:深圳米飞泰克科技有限公司变更后:深圳米飞泰克科技股份有限公司变更事项:地址变更前:518000 广东省深圳市龙岗区宝龙街道清风大道28号安博科技厂区1号厂房1、5、6层变更后:518000 广东省深圳市龙岗区宝龙街道清风大道28号安博科技厂区1号厂房1、5、6层
2020-12-18	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/50 登记生效日:20201204 变更事项:申请人变更前权利人:深圳安博电子有限公司变更后权利人:深圳米飞泰克科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:518000 广东省深圳市龙岗区宝龙工业区清风大道与宝龙四路交叉口东北侧清风路28号变更后权利人:518000 广东省深圳市龙岗区宝龙街道清风大道28号安博科技厂区1号厂房1、5、6层

共 50 条

[1]

晶圆清洁设备及晶圆生产线 [P].

舒福璋 ;

史霄 .

中国专利 :CN109107970A ,2019-01-01

[2]

一种12吋晶圆片摆臂固晶装置 [P].

陈能强 .

中国专利 :CN214313165U ,2021-09-28

[3]

一种8吋晶圆盒自动解锁装置 [P].

徐鑫 ;

王晓飞 .

中国专利 :CN214848529U ,2021-11-23

[4]

晶圆加热承载装置、晶圆加热生产线及晶圆加热方法 [P].

孙文彬 ;

姚鑫磊 .

中国专利 :CN117174644B ,2024-02-06

[5]

晶圆制造生产线的排货方法 [P].

丁力 ;

王明 ;

魏峥颖 .

中国专利 :CN109657941A ,2019-04-19

[6]

晶圆生产线设备管控方法 [P].

肖选 ;

何瑜 ;

程杰 ;

张慧婷 .

中国专利 :CN120163373A ,2025-06-17

[7]

一种12吋晶圆片摆臂固晶装置及使用方法 [P].

陈能强 .

中国专利 :CN112928054A ,2021-06-08

[8]

一种晶圆切割线生产用输送生产线 [P].

杨崇秋 ;

吉成东 ;

周林 .

中国专利 :CN214063699U ,2021-08-27

[9]

一种晶圆自动下片生产线 [P].

郭明灿 ;

王子龙 ;

李凯杰 ;

曹智 ;

高鹏飞 .

中国专利 :CN112420579B ,2021-02-26

[10]

一种激光加工设备及晶圆生产线 [P].

左国军 ;

周志豪 ;

郦俐 ;

王强 .

中国专利 :CN220761339U ,2024-04-12

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