晶圆生产线设备管控方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510230280.3

申请日：

2025-02-27

公开(公告)号：

CN120163373A

公开(公告)日：

2025-06-17

发明(设计)人：

肖选何瑜程杰张慧婷

申请人：

上海华力微电子有限公司

申请人地址：

201314 上海市浦东新区良腾路6号

IPC主分类号：

G06Q10/0631

IPC分类号：

G05B19/418 H01L21/67 G06Q10/0639 G06Q10/0633 G06Q50/04

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

郑玮

法律状态：

公开

国省代码：

上海市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-17	公开	公开
2025-07-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G06Q 10/0631申请日:20250227

共 50 条

[1]

晶圆清洁设备及晶圆生产线 [P].

舒福璋 ;

史霄 .

中国专利 :CN109107970A ,2019-01-01

[2]

晶圆加热承载装置、晶圆加热生产线及晶圆加热方法 [P].

孙文彬 ;

姚鑫磊 .

中国专利 :CN117174644B ,2024-02-06

[3]

一种激光加工设备及晶圆生产线 [P].

左国军 ;

周志豪 ;

郦俐 ;

王强 .

中国专利 :CN220761339U ,2024-04-12

[4]

一种用8吋晶圆生产线制造12吋晶圆的生产方法 [P].

程仕红 ;

栗伟斌 ;

王英广 ;

朱连迎 ;

桂美来 ;

王振辉 ;

赖辰辰 .

中国专利 :CN111799184B ,2020-10-20

[5]

晶圆制造生产线的排货方法 [P].

丁力 ;

王明 ;

魏峥颖 .

中国专利 :CN109657941A ,2019-04-19

[6]

管件外圆车削生产线 [P].

唐建伟 ;

占成全 ;

黄晓晞 ;

王小平 ;

邢检敏 .

中国专利 :CN108555321A ,2018-09-21

[7]

管件外圆车削生产线 [P].

唐建伟 ;

占成全 ;

黄晓晞 ;

王小平 ;

邢检敏 .

中国专利 :CN208467287U ,2019-02-05

[8]

管件外圆车削生产线 [P].

唐建伟 ;

占成全 ;

黄晓晞 ;

王小平 ;

邢检敏 .

中国专利 :CN208662522U ,2019-03-29

[9]

管件外圆车削生产线 [P].

唐建伟 ;

占成全 ;

黄晓晞 ;

王小平 ;

邢检敏 .

中国专利 :CN208662525U ,2019-03-29

[10]

用于生产线体的上电管控设备及生产线体 [P].

孙海涛 ;

李帅 ;

韩耀祥 .

中国专利 :CN207150631U ,2018-03-27

← 1 2 3 4 5 →