多路显影液显影控制信号监视系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510111173.1

申请日：

2005-12-06

公开(公告)号：

CN100416413C

公开(公告)日：

2007-06-13

发明(设计)人：

冯骏张鹏谢华

申请人：

申请人地址：

201206上海市浦东新区川桥路1188号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F700 H01L2100

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司

代理人：

丁纪铁

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20051206 授权公告日:20080903 终止日期:20181206
2014-01-08	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101684700199 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2005101111731 变更事项:专利权人变更前:上海华虹NEC电子有限公司变更后:上海华虹宏力半导体制造有限公司变更事项:地址变更前:201206 上海市浦东新区川桥路1188号变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
2007-06-13	公开	公开
2007-08-08	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-09-03	授权	授权

共 50 条

[1]

显影液的浓度监视装置及显影液管理装置 [P].

中川俊元 .

中国专利 :CN108345182A ,2018-07-31

[2]

显影液的浓度监视装置及显影液管理装置 [P].

中川俊元 .

中国专利 :CN108345185A ,2018-07-31

[3]

显影液控制系统 [P].

黄福林 ;

郑铁元 ;

权训 .

中国专利 :CN101634816B ,2010-01-27

[4]

显影液控制装置及显影机 [P].

苏春让 ;

高晓梅 ;

张理学 ;

王立波 .

中国专利 :CN207301641U ,2018-05-01

[5]

显影液供应系统及显影液填充方法 [P].

王忠诚 .

中国专利 :CN108732873B ,2018-11-02

[6]

一种多路显影液控制系统 [P].

张鹏 ;

谢华 ;

孙珉 ;

徐哲峰 .

中国专利 :CN1779574A ,2006-05-31

[7]

显影液浓度控制方法以及显影液浓度控制设备 [P].

董延卫 .

中国专利 :CN120406588A ,2025-08-01

[8]

显影液稀释系统 [P].

刘良 .

中国专利 :CN107300838A ,2017-10-27

[9]

显影液供给系统 [P].

罗海航 .

中国专利 :CN223450316U ,2025-10-17

[10]

显影液供应系统 [P].

张岳妍 .

中国专利 :CN105511237B ,2016-04-20

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