一种低温多晶硅薄膜的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110370014.9

申请日：

2011-11-18

公开(公告)号：

CN102655089A

公开(公告)日：

2012-09-05

发明(设计)人：

田雪雁龙春平姚江峰

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

H01L21324

IPC分类号：

H01L2120

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-08-12	授权	授权
2012-09-05	公开	公开
2012-10-31	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101340111742 IPC(主分类):H01L 21/324 专利申请号:2011103700149 申请日:20111118

共 50 条

[1]

一种低温多晶硅薄膜的制作方法和低温多晶硅薄膜 [P].

田雪雁 ;

龙春平 ;

姚江峰 .

中国专利 :CN102709160B ,2012-10-03

[2]

低温多晶硅薄膜的制作方法、低温多晶硅薄膜及相关器件 [P].

张慧娟 ;

刘建宏 .

中国专利 :CN104253246A ,2014-12-31

[3]

低温多晶硅薄膜的制作方法 [P].

王承贤 ;

彭思君 .

中国专利 :CN104658898A ,2015-05-27

[4]

低温多晶硅的制作方法、低温多晶硅薄膜和薄膜晶体管 [P].

田雪雁 .

中国专利 :CN103219230B ,2013-07-24

[5]

低温多晶硅薄膜的制作方法、低温多晶硅薄膜及低温多晶硅TFT基板 [P].

张瑞军 ;

卢马才 ;

王松 .

中国专利 :CN108831894A ,2018-11-16

[6]

一种低温多晶硅薄膜的制备方法及低温多晶硅薄膜 [P].

田雪雁 ;

龙春平 ;

姚江峰 .

中国专利 :CN102651311B ,2012-08-29

[7]

低温多晶硅薄膜制作方法 [P].

叶冠华 ;

吴宏基 ;

黄荣龙 .

中国专利 :CN101236898A ,2008-08-06

[8]

低温多晶硅薄膜及其制备方法、低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

葛泳 ;

刘玉成 ;

朱涛 ;

顾维杰 .

中国专利 :CN104362084A ,2015-02-18

[9]

低温多晶硅、薄膜晶体管及阵列基板的制作方法 [P].

徐向阳 .

中国专利 :CN108346562A ,2018-07-31

[10]

低温多晶硅薄膜制作方法、薄膜晶体管制作方法 [P].

张慧娟 .

中国专利 :CN103236400B ,2013-08-07

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