一种单晶硅片外边缘自动倒角装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201820276811.8
申请日
2018-02-27
公开(公告)号
CN207930444U
公开(公告)日
2018-10-02
发明(设计)人
王全文 杨蛟 李鹭
申请人
申请人地址
611200 四川省成都市崇州经济开发区同心路
IPC主分类号
B24B906
IPC分类号
B24B4106
代理机构
成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218
代理人
袁英
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
单晶硅片倒角装置 [P]. 
陈创 .
中国专利 :CN218397402U ,2023-01-31
[2]
一种单晶硅片倒角装置 [P]. 
王全文 ;
李鹭 ;
杨蛟 .
中国专利 :CN208744407U ,2019-04-16
[3]
一种单晶硅片倒角装置 [P]. 
姚锋 .
中国专利 :CN221539211U ,2024-08-16
[4]
一种自动化单晶硅片倒角装置 [P]. 
黄娜 ;
庄志伟 .
中国专利 :CN217890477U ,2022-11-25
[5]
一种自动化单晶硅片倒角装置 [P]. 
代刚 ;
傅昭林 ;
张超 .
中国专利 :CN214642418U ,2021-11-09
[6]
一种集成电路用单晶硅片边缘倒角装置 [P]. 
黄旭华 ;
李忱钢 ;
王志 ;
封懿恒 ;
陆成军 .
中国专利 :CN112372431A ,2021-02-19
[7]
一种单晶硅片倒角装置 [P]. 
刘跟新 ;
吕宇怀 ;
芦小莉 .
中国专利 :CN221774138U ,2024-09-27
[8]
自动化单晶硅片倒角装置 [P]. 
曾玥 .
中国专利 :CN106425744A ,2017-02-22
[9]
一种自动化单晶硅片倒角装置 [P]. 
代刚 ;
傅昭林 ;
张超 .
中国专利 :CN113084639A ,2021-07-09
[10]
一种适用于单晶硅片的自动倒角装置 [P]. 
张立亮 ;
熊吉伟 ;
潘瑞林 ;
田昌勇 ;
黄梓 .
中国专利 :CN114012542A ,2022-02-08