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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-11 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01F 1/66 申请日:20190531 授权公告日:20200320 终止日期:20200531 |
| 2020-10-30 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):G01F 1/66 变更事项:发明人 变更前:黄国庆 陈敏 变更后:黄国庆 |
| 2020-03-20 | 授权 | 授权 |