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一种前体源气体输送装置
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202010935578.1
申请日
:
2020-09-08
公开(公告)号
:
CN112144114A
公开(公告)日
:
2020-12-29
发明(设计)人
:
张东生
刘毫毫
姚栋嘉
吴恒
余佳成
马美霞
杨超
王琰
申请人
:
申请人地址
:
451261 河南省郑州市巩义市站街镇胡坡村
IPC主分类号
:
C30B2514
IPC分类号
:
C30B2516
代理机构
:
郑州豫开专利代理事务所(普通合伙) 41131
代理人
:
张智伟
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-01-15
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 25/14 申请日:20200908
2020-12-29
公开
公开
共 50 条
[1]
一种前体源气体输送装置
[P].
张东生
论文数:
0
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机构:
巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司
巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司
张东生
;
刘毫毫
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巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司
巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司
刘毫毫
;
姚栋嘉
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巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司
巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司
姚栋嘉
;
吴恒
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巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司
巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司
吴恒
;
余佳成
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巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司
巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司
余佳成
;
马美霞
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巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司
巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司
马美霞
;
杨超
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巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司
巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司
杨超
;
王琰
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机构:
巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司
巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司
王琰
.
中国专利
:CN112144114B
,2024-08-06
[2]
一种前体源气体输送装置
[P].
张东生
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张东生
;
刘毫毫
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刘毫毫
;
姚栋嘉
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姚栋嘉
;
吴恒
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吴恒
;
余佳成
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余佳成
;
马美霞
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马美霞
;
杨超
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杨超
;
王琰
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王琰
.
中国专利
:CN213596460U
,2021-07-02
[3]
一种粉体材料气体输送装置
[P].
朱杰
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朱杰
;
张贵贞
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张贵贞
.
中国专利
:CN202414773U
,2012-09-05
[4]
气体输送装置、气体输送系统和等离子体处理装置
[P].
张新云
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北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
张新云
;
管长乐
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北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
管长乐
;
王春雷
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机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
王春雷
.
中国专利
:CN116031132B
,2025-04-11
[5]
气体输送装置、气体输送系统和等离子体处理装置
[P].
张新云
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北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
张新云
;
管长乐
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北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
管长乐
;
王春雷
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机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
王春雷
.
中国专利
:CN120565384A
,2025-08-29
[6]
一种新型气体输送装置
[P].
陈鲁
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陈鲁
;
李绪杰
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李绪杰
.
中国专利
:CN111762574A
,2020-10-13
[7]
一种粉体材料气体输送装置
[P].
于雷
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机构:
常州逸盛机电技术有限公司
常州逸盛机电技术有限公司
于雷
.
中国专利
:CN221587242U
,2024-08-23
[8]
一种粉体材料气体输送装置
[P].
王文川
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王文川
;
杨强
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杨强
;
高承兵
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高承兵
.
中国专利
:CN207551364U
,2018-06-29
[9]
气体输送装置
[P].
莫皓然
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莫皓然
;
陈世昌
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陈世昌
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廖家淯
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廖家淯
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廖鸿信
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廖鸿信
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黄启峰
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黄启峰
;
蔡长谚
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蔡长谚
.
中国专利
:CN210087587U
,2020-02-18
[10]
气体输送装置
[P].
莫皓然
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莫皓然
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陈世昌
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陈世昌
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廖家淯
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廖家淯
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廖鸿信
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廖鸿信
;
陈寿宏
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陈寿宏
;
黄启峰
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黄启峰
;
蔡长谚
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蔡长谚
.
中国专利
:CN109723627A
,2019-05-07
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